產(chǎn)品介紹：

名  稱：程控高精度勻膠機(jī)

型  號：SC100-SE

應(yīng)  用：程控高精度勻膠機(jī)，是一種超高轉(zhuǎn)速精度，并帶有真空數(shù)顯傳感器和水平數(shù)顯傳感器的高精密高檔勻膠設(shè)備。

產(chǎn)品概述：

　　SC100-SE程控勻膠機(jī)是一種超高轉(zhuǎn)速、高精度的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，并帶有真空數(shù)顯傳感器和水平數(shù)顯傳感器，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。

性能參數(shù)：

l  主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

l  旋涂程序：可擴(kuò)展編輯和存貯到無限程序步驟

l  轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10,000rpm

l  旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

l  轉(zhuǎn)速精度達(dá)到±0.1rpm，超高轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性；

l  工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step

l  時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8"圓晶）

l  旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l  內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密閉碗"設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。

l  采用工業(yè)級別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。

l  機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，生銹，便于清洗。

l  透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

l  數(shù)顯真空壓力傳感器，真空值數(shù)字顯示，壓力開關(guān)值可設(shè)置；

l  數(shù)顯水平度傳感器，實(shí)時(shí)顯示載物盤面的水平度，可通過底腳進(jìn)行調(diào)節(jié)；

l  自帶四個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠端口，更多端口控制可升級。

產(chǎn)品外型尺寸：
      433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)

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